SEM (Scanning Electron Microscopy) adalah alat yang digunakan untuk mengkaji struktur morfologi permukaan dan cross section suatu bahan dengan perbesaran hingga 1.000.000 X . Dengan menggunakan SE ( Secondary Electron) detektor, peralatan ini memiliki 2 modus operasional yaitu Low Vacum (untuk sampel non-konduktif) dan High Vacum (untuk sampel konduktif). Alat ini juga dilengkapi dengan EDX (Energy-dispersive X-ray spectroscopy) yang dapat digunakan untuk mengetahui kandungan unsur pada bahan melalui struktur permukaannya. Kandungan unsur yang dapat diidentifikasi mulai dari Berilium s/d Uranium. Selain itu, alat ini juga dapat melihat sebaran unsur didalam suatu bahan melalui representasi surface area, line dan mapping.
Contoh Hasil :
*Scanning Electron Microscopy (SEM) Merk FEI, Type: Inspect-S50
